Açıklama
Akıllı yükseltme pimleriPID kontrollü wafer yükseltme pimlerindeki yumuşak, esnek uçlar nedeniyle düz ve çarpık waferları hassasça sabitleyin. Vakum algılama ve anahtarlama, yükleme, kelepçe ve boşaltma süreci boyunca yükseltme pimi konumu ile akıllıca zamanlanır.
|
Wafer iticiAşırı çarpıklık durumlarında, isteğe bağlı bir wafer itici, hassas sıkıştırma sağlar. Vakum aynalarının yüksek hava akışı, waferları aşağı çeker. |
Wafer temizleme ünitesiÖn ve son temizlik için test kalıntılarını bir üfleyici ve elektrikli süpürge veya yapışkan folyolu bir rulo ile wafer ve wafer chucktan uzak tutun. |
 Panel chuck iş tutucu300 mm’ye kadar paneller veya levhalar için vakumlu iş tutucu. Numunenizi chuckta yeniden konumlandırmadan 300 mm’lik bir panelin %100’üne kolayca ulaşın. Wafer chuck iş tutucu, güvenlik kilitlerine sahiptir ve 360° döndürülebilir. |
 Örnek Wafer Haritalama / İçe AktarmaTam izlenebilirlik için KLARF, (S)INF, G85 ve diğerleri gibi wafer haritaları için çoklu dosya formatlarını kolayca içe ve dışa aktarın. Kusurlar veya test konumları genel bakışta gösterilir ve test veya analiz için doğrudan erişilebilirdir. |
Büyük Bump GidermeBüyük tümsekleri otomatik olarak kesin ve wafer taramasına hazırlanmak için kalıntıları temizleyin. Tamamen programlanabilir görme algoritmaları, büyük tümseklerin kaldırılmasının başarılı olup olmadığını kontrol edebilir. |
